東北大学グリーン未来創造機構 グリーンクロステック研究センターの水谷正義教授、株式会社ティ・ディ・シーの赤羽優子氏（東北大大学院生）らの研究グループは、研磨工程における環境負荷低減を目指し、ウルトラファインバブル（UFB、ナノバブル）を研磨助剤として利用する新手法の有効性を実証しました。半導体やMEMS製造では表面を原子レベルで平滑化するため、多量の化学薬品（研磨助剤）が用いられますが、廃液処理や洗浄コストが課題です。
 
本研究では、UFBが圧壊する際に生じる反応性種の作用で表面を微細に酸化・脆化させ、削り取りやすくする「表面改質」メカニズムを検証しました。3GeV高輝度放射光施設NanoTerasuの硬X線光電子分光（HAXPES）により、極薄の表面改質層を高精度に評価した結果、炭素鋼およびアルミニウム合金で研磨に適した改質層（脆性層）が顕著に形成されることを確認しました。UFBが化学薬品の代替となる研磨助剤として機能し得る可能性を、科学的に示した成果です。
 
グリーンクロステック研究センターHP
https://www.ggi.tohoku.ac.jp/greenxtech/2026/04/30/699/